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真空镀膜技术广泛地应用在现代工业和科学技术中，光学仪器的反射镜，增透镜，激光器谐振腔的高反射膜，计算机上存储和记忆用的磁性薄膜，以及材料表面的超硬薄膜。此外在电子学、半导体等其它各尖d学科也都采用了真空技术。目的是学习真空蒸发镀膜技术。通过本门实验，要求学生掌握如下几点： 较系统了解真空镀膜仪器的结构；@了解真空系统各组件的功能； 3了解石英晶体振荡器测厚原理；掌握真空蒸镀的基本原理；了解真空镀膜仪器的基本操作。

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真空镀膜的形式

蒸发镀膜（evaporation）通过在真空中加热蒸发某种物质使其产生金属蒸气沉积（凝聚）在固体表面成为薄膜，蒸发物质如

金属、化合物等置于堆埚内或挂在热丝上作为蒸发源，膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间（或决定于装料量） ，并与源和基

片的距离有关。