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上游的金属提纯主要从自然界重点金属矿石进行提纯，一般的金属能达到 99.8%的纯度，溅射靶材需要达到 99.999%的纯度。

靶材制造环节首先需要根据下游应用领域的性能需求进行工艺设计，然后进行反复的塑性变形、热处理来控制晶粒、晶向等关键指标，再经过水切割、机械加工、金属化、超生测试、超声清洗等工序。