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等离子体辅助化学气相沉积（pecvd）：一种通过辉光放电增强化学反应并在较低温度下形成涂层的技术。pecvd的主要优点是可以在较低的温度下形成高的涂层。与其他化学气相沉积（cvd）技术相比，pecvd需要较低的反应温度和较短的加工时间。此外，pecvd还可以处理各种基材，并且可以通过调整反应条件来生成不同的材料组成和微观结构。这种灵活性使其成为制备复合材料和功能涂层的---工具。特种灯具反光杯
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